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潔凈室空氣凈化的設(shè)計(jì)要點(diǎn)
1.系統(tǒng)
      室內(nèi)的空氣凈化系統(tǒng)可分為水平層流便利性、垂直層流和亂流。選擇氣流形式一則參照慣例，二則取決于房間的工作參數(shù)相貫通。
2.潔凈度與換氣次數(shù)
      房間的潔凈度取決于單位時(shí)間的換氣次數(shù)各項要求，因此慎密考慮房間的工作性質(zhì)服務機製、以及生產(chǎn)工藝要求互動互補，再?zèng)Q定凈化系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)再獲。
3.結(jié)構(gòu)
      為了保證氣流幾乎不受干擾信息化，就必須進(jìn)行結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)經驗分享，必要的謹(jǐn)慎可以防止房間里任何地方的灰塵積累。
4.設(shè)計(jì)方案
      要確定設(shè)計(jì)方案趨勢，必須先對(duì)房間的工作性質(zhì)以及其中的氣流條件進(jìn)行認(rèn)真的考慮有力扭轉。發(fā)塵量大的車間不宜采用地面送風(fēng)形式，潔凈度要求高的車間應(yīng)盡可能遠(yuǎn)離其它車間一站式服務。
5.材料
      作為潔凈室頂棚發展需要，墻面和地板的材料必須是不宜破裂、不易沾顆粒管理，以及幾乎不起塵的材料顯示，另外根據(jù)房間不同的工作條件，還必須考慮材料的化學(xué)性能是否穩(wěn)定效率和安。
6.壓力和氣流
      為了保證房間的潔凈度設計能力，必須防止外面污染氣流進(jìn)入室內(nèi)，要達(dá)到這個(gè)目的深入開展，房間里必須保持正壓更為一致。為了獲得所要求的房間壓力，必須補(bǔ)充適當(dāng)?shù)男迈r空氣技術的開發。
7.輔助設(shè)備
      必要時(shí)還得安置一些輔助設(shè)備：如新風(fēng)口的空氣指示儀研究與應用，隔斷上的傳遞窗等。這些設(shè)備必須適合房間的要求更高效，并且必須真正了解其功能.
8.人和物的控制
      人和物是潔凈室的主要塵源全面協議，因此必須充分控制，例如：在進(jìn)入凈化房前，所有的人都要經(jīng)過人凈系統(tǒng)工具，更換無塵衣智慧與合力，并且要接受凈化系統(tǒng)功能的基本教育。
9.給排水和送風(fēng)裝置及電源
      根據(jù)所要運(yùn)行的車間重要的角色，提供必須的給排水裝置開放要求，送風(fēng)裝置和電源，這些裝置和所涉及的設(shè)備必須易于使用和設(shè)計(jì)平臺建設，同時(shí)不得有勃于空氣凈化系統(tǒng)服務機製。
潔凈室的規(guī)劃一般性的規(guī)劃重點(diǎn)
潔凈室的整廠規(guī)劃(Turn Key Projects)(如表3-1)，因涉及范圍極廣使用，需建筑大幅拓展、水電、空調(diào)積極回應、環(huán)保、防震又進了一步、制造等各項(xiàng)專業(yè)人才共同規(guī)劃多種場景，盡管不少潔凈室規(guī)劃，多需要就于既有的建筑物規劃，然而擴大公共數據，為避免失誤應(yīng)盡可能事先確認(rèn)下列事項(xiàng)： 1. 潔凈度等級(jí)。 2. 室壓之平衡措施帶動擴大。
3. 溫濕度要求核心技術體系。 4. 機(jī)器設(shè)備之必要性。
5. 確定生產(chǎn)流程持續發展。 6. 局部排氣之必要性必然趨勢。
7. 日后擴(kuò)充彈性。 8. 足夠維護(hù)保養(yǎng)空間擴大。
9. 空調(diào)送風(fēng)方式多樣性。 10. 員工休息區(qū)之安排。
11. 設(shè)施與動(dòng)力之配置新格局。 12. 室內(nèi)凈高與樓板載重明顯。
13. 設(shè)備空間與管道間。 14. 門窗宜少顯示，氣密性要佳創新為先。
15. 靜電、振動(dòng)及噪音科普活動。 16. 生產(chǎn)線與活動(dòng)線少交叉創新延展。
17. 公害、污染與防災(zāi)。 18. 安裝及運(yùn)轉(zhuǎn)成本之衡量進展情況。
潔凈室的動(dòng)線規(guī)劃
所謂[動(dòng)線]的積極性，是指人員、原料之入室路線至關重要，與人員與成品的出室路線不久前。規(guī)劃時(shí)，要檢討分析人(車)路徑提升行動、配管系統(tǒng)能力建設、排氣管道、原料搬運(yùn)和作業(yè)之流程等有效性，盡量縮短動(dòng)線創新內容，并避免交叉，以防止交叉污染(Cross Contamination)廣泛關註。
要點(diǎn)：
1．作業(yè)者善於監督、材料、化學(xué)藥品等動(dòng)線勿集中就能壓製。
2．制造裝置之出入更合理，需不對(duì)作業(yè)產(chǎn)生大影響。
3．超潔凈室四周更優美，宜設(shè)緩沖區(qū)(即較差潔凈區(qū))各方面。
工業(yè)潔凈室(ICR)之潔凈度與適用和分類表
潔凈度
產(chǎn)業(yè)別
潔凈度(≥0.5μm，個(gè)/ft3)
1 10 100 1000 10000 100000
LSI制造工程   　　　　
LSI組立檢查工程   　　　　
(矽)單結(jié)晶   　　　　　　
照像光罩photo mask
光阻涂膜photoresist
一般液晶(tn,stn)   　　　　　　
顯示用液晶(tft,mim)   　　　　
投影用液晶(tft)   　　　　
混合(hybrid)IC   　　　　　　
印刷基板材料   　　　　　
印刷配線板   　　　　　　
電晶體成效與經驗、二極體   　　　　
精密電子部品   　　　　　
磁頭   　　　　　　
磁碟   　　　　
電腦適應性、磁碟裝置組立   　　　　　
錄影帶、光碟　　
照像底片
光織   　　　　　　
精密軸承   　　
光學(xué)鏡片
半導(dǎo)體制造裝置   　　　　
潔凈管及閥類   　　　　
LSI制造用化學(xué)藥品   　　　　
精密測(cè)定機(jī)制造   　　　　　
清洗無壓衣   　　　　　
印刷稍有不慎、制版   　　　　　　
生物潔凈室(BCR)之潔凈度與適用和分類表
潔凈度
產(chǎn)業(yè)別潔凈度(≥0.5μm重要作用，個(gè)/ft3)
1 10 100 1000 10000
(醫(yī)藥品)   　　　　　
抗生物質(zhì)   　　　　　
注射藥   　　　　　
血清
藥劑包裝過程
醫(yī)療用器具
(病院)
無菌手術(shù)室
手術(shù)室
無菌病室
調(diào)劑室
   　　　　　
(食品)
牛乳·乳制品
食肉·食肉加工
煉乳制品
清酒·酒類
糕餅·豆腐
制果·面包
(動(dòng)物實(shí)驗(yàn))
飼養(yǎng)區(qū)
隔離區(qū)
其他
磨茹·菌類培養(yǎng)
觀葉植物培養(yǎng)
化妝品
美國(guó)太空署(NASA)之無菌室規(guī)范重點(diǎn)(NHB-5340.2)
無菌室(BCR)潔凈等級(jí) 微粒子微生物
粒徑累積粒子數(shù)
個(gè)/ft3(個(gè)/L) 浮游量
個(gè)/ft3(個(gè)/L) 沈降量
個(gè)/ft2(個(gè)/M2)
100 ≥0.5 ≤100(≤3.5) ≤0.1(0.0035) 1200(12900)
10000 ≥0.5 ≤10000(≤350) ≤0.5(0.0176) 6000(64600)
≥0.5 ≤65(≤2.3)
100000 ≥0.5 ≤100000(≤3500) ≤2.5(0.0884) 3000(323000)
≥5.0 ≤700(≤25)
FS-209E潔凈度等級(jí)(1992年)
粒徑大小 ≥0.1μm ≥0.2μm ≥0.3μm ≥0.5μm ≥5μm
微粒子數(shù) 個(gè)/M3 個(gè)/ft3 個(gè)/M3 個(gè)/ft3 個(gè)/M3 個(gè)/ft3 個(gè)/M3 個(gè)/ft3 個(gè)/M3 個(gè)/ft3
S1制級(jí) 英制級(jí)   　　　　　　　　　
M1
   350
9.01
75.7
2.14

潔凈室空氣凈化的設(shè)計(jì)要點(diǎn)